AI4S è un regolatore di impedenza automatico, dotato di 4 stub, sensori di impedenza e un sistema di controllo elettronico. Tutti i componenti sono integrati in una guida d'onda standard. Non appena il generatore invia le microonde, il sistema di regolazione automatica adatta istantaneamente il carico e mantiene stabile la potenza riflessa a un livello basso.
Il sintonizzatore è dotato di un efficiente sistema di raffreddamento ad acqua per applicazioni ad alta potenza, fino a 10 kW.
L'esclusivo regolatore di SAIREM adatta l'impedenza automaticamente e molto più velocemente rispetto alla tecnologia di approssimazione successiva più comunemente utilizzata.
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Brochure - Tuner automatico a 4 stub - AI4S NG - Regolatore di impedenza | 808.1 KB |
Applicazioni con plasma
- Diamanti depositati in laboratorio con PECVD
- Qualsiasi applicazione che abbia a che fare con il plasma, in particolare quando è richiesta una modifica delle condizioni operative
DESIGN
- Più compatto della generazione precedente
- Può sostituire la versione precedente
TECNOLOGIA
- Tecnologia di sintonizzazione automatica determinista
- 100 % di abbinamento fino a Rho
- Corrispondenza della potenza riflessa al 100% con generatore da 6 kW
- Scalda meno della versione precedente
Il sintonizzatore automatico a 4 stub AI4S funziona in modalità automatica se alimentato a 24 V CC. La scheda di controllo remoto standard è Modbus su porta RS232.
Per una modalità di controllo manuale aggiuntiva, ad esempio per l'avvio da una posizione di inizio corsa specifica, vengono proposte diverse opzioni:
- Controllo tramite il proprio programma Labview tramite Modbus su controllo remoto su porta RS232 (versione standard)
- Controllo tramite PLC tramite PROFIBUS o controllo remoto tramite CanOpen o Modbus Ethernet
- Controllo tramite il software SAIREM AI4S che consente di passare dal controllo automatico a quello manuale dei sensori di impedenza con un semplice clic. Un'altra possibilità è quella di registrare ed esportare la posizione dei sensori rispetto al tempo; ad esempio, durante il cambiamento delle condizioni operative.
- Controllo tramite SAIREM CBA AI4S, rack di controllo 19" 5 U con touch screen integrato e alimentazione 24 V DC
Caratteristiche Tecniche
Codice | AI4SAWR340 NG MS A |
Descrizione | 2 coppie di sistemi di regolazione a 2 stub, induttanza a ¼ di lunghezza d'onda, sensore integrato composto da 4 diodi, controllo in remoto di X&Y che fornisce l'impedenza di carico 'rho', controllo manuale o automatico tramite il connettore esterno |
Frequenza | 2450 MHz +/- 25 MHz |
Massima potenza di ingresso | Potenza microonde 10 kW |
Calibrazione | La calibrazione viene effettuata in fabbrica in base alla potenza del generatore, da 200 W a 10 kW (la potenza deve essere indicata nell'ordine di acquisto) |
Autoregolazione dell'impedenza | VSWR 5 max qualsiasi fase, qualsiasi potenza |
Tempo di risposta | Massimo 3 s da qualsiasi posizione |
Raffreddamento | Acqua con ref ….2PE, tubo 6 x 8 mm, min. 0,5 L/min sopra i 6 kW, altrimenti non necessita di acqua |
Posizione neutra | • Per 10 s dopo l'accensione a 24 VDC, l'AI4S si porta in posizione neutra |
Voltaggio | 24 VDC 1,5 A (l'alimentatore non è fornito, a meno che l'AI4S non venga acquistato insieme a un rack di controllo) |
Alimentatore (opzionale) | Alimentazione non fornita a meno che se l'AI4S venga acquistato con il rack di controllo mod. CBA AI4S |
Guida d'onda | WR340 |
Materiale | Guida d'onda in alluminio, stub in rame |
Raffreddamento (l/min) | Portata acqua min 0 L/min 1 L/min 2 L/min |
Controllo remoto | Opzionale |
Dimensioni (L x P x A | • 349 x 135 x 256 mm |
Peso | • 5.6 kg per l'AI4S NG |
2 - In attesa di brevetto FR 1854315