Tuner automatico a 4 stub - AI4S NG

Regolatore di impedenza automatico, dotato di 4 stub, sensori di impedenza e un sistema di controllo elettronico

AI4S è un regolatore di impedenza automatico, dotato di 4 stub, sensori di impedenza e un sistema di controllo elettronico. Tutti i componenti sono integrati in una guida d'onda standard. Non appena il generatore invia le microonde, il sistema di regolazione automatica adatta istantaneamente il carico e mantiene stabile la potenza riflessa a un livello basso.

Il sintonizzatore è dotato di un efficiente sistema di raffreddamento ad acqua per applicazioni ad alta potenza, fino a 10 kW.
L'esclusivo regolatore di SAIREM adatta l'impedenza automaticamente e molto più velocemente rispetto alla tecnologia di approssimazione successiva più comunemente utilizzata.

Principali applicazioni

Applicazioni con plasma

  • Diamanti depositati in laboratorio con PECVD 
  • Qualsiasi applicazione che abbia a che fare con il plasma, in particolare quando è richiesta una modifica delle condizioni operative
Principali vantaggi

DESIGN

  • Più compatto della generazione precedente
  • Può sostituire la versione precedente

TECNOLOGIA

  • Tecnologia di sintonizzazione automatica determinista
  • 100 % di abbinamento fino a Rho
  • Corrispondenza della potenza riflessa al 100% con generatore da 6 kW
  • Scalda meno della versione precedente
Controllo remoto (opzionale)

Il sintonizzatore automatico a 4 stub AI4S funziona in modalità automatica se alimentato a 24 V CC. La scheda di controllo remoto standard è Modbus su porta RS232.

Per una modalità di controllo manuale aggiuntiva, ad esempio per l'avvio da una posizione di inizio corsa specifica, vengono proposte diverse opzioni:

  • Controllo tramite il proprio programma Labview tramite Modbus su controllo remoto su porta RS232 (versione standard)
  • Controllo tramite PLC tramite PROFIBUS o controllo remoto tramite CanOpen o Modbus Ethernet
  • Controllo tramite il software SAIREM AI4S che consente di passare dal controllo automatico a quello manuale dei sensori di impedenza con un semplice clic. Un'altra possibilità è quella di registrare ed esportare la posizione dei sensori rispetto al tempo; ad esempio, durante il cambiamento delle condizioni operative.
  • Controllo tramite SAIREM CBA AI4S, rack di controllo 19" 5 U con touch screen integrato e alimentazione 24 V DC

Caratteristiche Tecniche

Caratteristiche principali

Codice

AI4SAWR340 NG MS A

Descrizione

2 coppie di sistemi di regolazione a 2 stub, induttanza a ¼ di lunghezza d'onda, sensore integrato composto da 4 diodi, controllo in remoto di X&Y che fornisce l'impedenza di carico 'rho', controllo manuale o automatico tramite il connettore esterno

Frequenza

2450 MHz +/- 25 MHz

Massima potenza di ingresso

Potenza microonde 10 kW

Calibrazione

La calibrazione viene effettuata in fabbrica in base alla potenza del generatore, da 200 W a 10 kW (la potenza deve essere indicata nell'ordine di acquisto)

Autoregolazione dell'impedenza

VSWR 5 max qualsiasi fase, qualsiasi potenza

Tempo di risposta

Massimo 3 s da qualsiasi posizione

Raffreddamento

Acqua con ref ….2PE, tubo 6 x 8 mm, min. 0,5 L/min sopra i 6 kW, altrimenti non necessita di acqua

Posizione neutra

• Per 10 s dopo l'accensione a 24 VDC, l'AI4S si porta in posizione neutra
• Se si spegne entro questi 10 secondi, l'AI4S rimane nella posizione neutra

Voltaggio

24 VDC 1,5 A (l'alimentatore non è fornito, a meno che l'AI4S non venga acquistato insieme a un rack di controllo)

Alimentatore (opzionale)

Alimentazione non fornita a meno che se l'AI4S venga acquistato con il rack di controllo mod. CBA AI4S

Guida d'onda

WR340

Materiale

Guida d'onda in alluminio, stub in rame

Raffreddamento (l/min)

Portata acqua min 0 L/min 1 L/min 2 L/min
Per un 6 kW TOS < 6 TOS < 8 TOS < 10
Per un 10 kW TOS < 3 TOS < 6 TOS < 10
(TOS = VSWR)

Controllo remoto

Opzionale

Dimensioni (L x P x A

• 349 x 135 x 256 mm
• 55 mm di lunghezza per prolunga

Peso

• 5.6 kg per l'AI4S NG
• 4.5 kg per il CBA AI4S

2 - In attesa di brevetto FR 1854315