La nuova generazione di profilometri ad alte prestazioni di GBS
Lo Smart WLI Next di GBS Ilmenau Gmbh è un sensore 3D che può essere utilizzato per misurare nanostrutture e microgeometrie.
Ha una torretta motorizzata che può portare fino a quattro obiettivi. Ciò significa che il sensore compatto, che funziona con il principio dell'interferometria a luce bianca, può essere utilizzato in macchine di misura che richiedono un cambio dell'obiettivo, durante il processo di misura, senza intervento manuale. Anche il software di scansione è stato migliorato in modo che la velocità di misurazione massima di tutti i sensori di questa serie, così come la risoluzione in xyz, fosse più veloce dei modelli precedenti. Mentre le strutture superficiali più piccole possono essere valutate anche su superfici superlucide come uno specchio di cristallo, è inoltre possibile misurare aree estese molto più velocemente di prima, e con maggiore risoluzione.
A tale scopo, la superficie viene analizzata in una prima fase con una velocità di scansione di oltre 1 mm/s, e il campo di misura necessario per la misurazione ad alta risoluzione è limitato. Anche con un'elevata tolleranza di posizione e con superfici inclinate con una differenza di altezza di diversi 100μ, è possibile eseguire misurazioni individuali da 1 a 2s; e in pochi minuti è possibile misurare e riprendere aree più grandi, con diverse misurazioni singole a 100μ.
File
| Allegato | Dimensione |
|---|---|
 Smart WLI NEXT - Brochure | 541.83 KB |
News, eventi, promo, webinar
Caratteristiche Tecniche
tecnica di misurazione | interferometria a luce bianca |
|---|---|
software di misurazione | smartVIS3D |
software di valutazione | MountainsMap® con moduli aggiuntivi GBS opzionali |
dispositivo di scansione | sistema di posizionamento piezoelettrico |
intervallo di scansione | 200 µm |
intervallo esteso di scansione | opzionale con asse di scansione motorizzato (aggiuntivo) fino a 200 mm |
digitalizzazione | fino a 0.01 pm |
rumore di sistema / riproducibilità topografica Nm* | < 0,08 nm (fotocamera da 5 MP) / < 0,12 nm (fotocamera da 2,3 MP) |
Riproducibilità 1-σ Altezza passo 0,4 µm | < 1 nm |
Riproducibilità 1-σ Altezza passo 12 µm | < 3 nm |
Riproducibilità 1-σ Altezza passo 100 µm | < 20 nm |
Peso del sensore | circa 5 kg |
umidità relativa, senza condensa | fino a 80% |
temperatura di funzionamento | da 10 °C a 35 °C |
Alimentazione elettrica | Da 100 a 240 V CA, 50/60 Hz |
*Sq/√2 – differenza di profilo di 2 scansioni, obiettivo 10x, EPSI, scansione singola, senza media del profilo, condizioni di laboratorio, 1 milione di punti dopo il filtro di denoising 3x3
Fotocamera ad alta velocità da 2,3 MP | Fotocamera ad alta velocità da 5 MP | |
|---|---|---|
velocità della fotocamera a piena risoluzione | 169 Hz (1920 x 1200 punti di misura) | 77 Hz (2456 x 2054 punti di misura) |
velocità di scansione piena risoluzione | 11,4 µm/s | 5.2 µm/s |
velocità di scansione piena risoluzione | 56 µm/s | 26 µm/s |
Velocità delle fotocamera in sottocampionamento | 533 Hz (960 x 600 punti di misura) | sottocampionamento non disponibile |
sottocampionamento della velocità di scansione - incremento minimo | 35,7 µm/s | sottocampionamento non disponibile |
sottocampionamento della velocità di scansione - 5x incrementi estesi | 178,5 µm/s | sottocampionamento non disponibile |
velocità della fotocamera ROI medio | 1,4 kHz (400 x 400 punti di misura) | 340 Hz (2456 x 400) punti di misura) |
velocità di scansione ROI medio | 93,8 µm/s | 22,8 µm/s |
velocità di scansione ROI medio | 469 µm/s | 114 µm/s |
velocità della fotocamera - ROI limitato | 3,2 kHz (1920 x 36 punti di misura) | 2 kHz (2456 x 2 punti di misura) |
velocità di scansione - ROI limitato | 214,4 µm/s | 134 µm/s |
velocità di scansione - ROI limitato | 1.072 µm/s | 670 µm/s |
ROI | maggiore velocità con meno linee e file più piccoli | maggiore velocità con meno linee |
calcolo dei dati | calcolo in tempo reale dei dati 3d su GPGPU (general purpose graphic processing unit) fino a 10 TFLOPS | calcolo in tempo reale dei dati 3d su GPGPU (general purpose graphic processing unit) fino a 10 TFLOPS |
incrementi di scansione supportati | 1x, 3x, 5x, 7x, 11x | 1x, 3x, 5x, 7x, 11x |
"prescansione" ad alta velocità | la "prescansione" può essere utilizzata per determinare e ridurre automaticamente il range z necessario per misurazioni ad alta risoluzione - questo riduce drasticamente il tempo di misurazione per superfici con altezze variabili all'interno della gamma di scansione | la "prescansione" può essere utilizzata per determinare e ridurre automaticamente il range z necessario per misurazioni ad alta risoluzione - questo riduce drasticamente il tempo di misurazione per superfici con altezze variabili all'interno della gamma di scansione |
ingrandimento | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | 115x* |
distanza di lavoro / mm | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2 | 0.7 |
apertura | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 | 0.8 |
Fotocamera da 2,3 MP - campo di misura / mm² | 3.7 x 2.3 | 1.8 x 1.2 | 0.91 x 0.58 | 0.37 x 0.23 | 0.18 x 0.12 | 0.16 x 0.1 |
Fotocamera da 2,3 MP - Spaziatura tra punti / µm | 1.9 | 0.96 | 0.48 | 0.19 | 0.1 | 0.08 |
Fotocamera da 2,3 MP - super risoluzione - spaziatura / µm | 0.63 | 0.32 | 0.16 | 0.063 | 0.033 | 0.027 |
Fotocamera da 5 MP - campo di misura / mm² | 3.4 x 2.8 | 1.7 x 1.4 | 0.85 x 0.71 | 0.34 x 0.28 | 0.17 x 0.14 | 0.15 x 0.12 |
Fotocamera da 5 MP - spaziatura tra punti / µm | 1.4 | 0.69 | 0.35 | 0.14 | 0.07 | 0.06 |
Fotocamera da 5 MP - super risoluzione - spaziatura / µm | 0.47 | 0.23 | 0.12 | 0.047 | 0.023 | 0.02 |
max. / range di posizionamento grossolano (posizionamento z manuale) | 70 mm |
intervallo di posizionamento preciso (posizionamento z manuale) | 1.9 mm |
angolo di inclinazione (dispositivo di livellamento) | ± 3° |
area di posizionamento | movimento | capacità di carico | risoluzione | ortogonalità | codificatore |
73 x 55 mm² | manuale | 1 kg | - | - | - |
75 x 50 mm² | motorizzato | 1 kg | 0.01 µm | <10arcsec | opzionale |
100 x 100 mm² | motorizzato | 2 kg | 0.01 µm | <10arcsec | opzionale |
150 x 150 mm² | motorizzato | 3 kg | 0.01 µm | <10arcsec | opzionale |
200 x 200 mm² | motorizzato | 3 kg | 0.01 µm | <10arcsec | opzionale |
300 x 300 mm² | motorizzato | 5 kg | 0.01 µm | <5arcsec | opzionale |
Componenti |
|---|
Rack industriale 19 con alloggiamento |
PC ad alte prestazioni |
Controllore del dispositivo di scansione |
Controller luci a LED |
Controller del sistema di posizionamento XY (opzionale) |