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Le griglie di calibrazione della serie TGXYZ sono insiemi di diverse strutture compreso uno step rettangolare di biossido di silicio su un wafer di silicio. Il piccolo quadrato nel centro, di dimensioni 500 μm per 500 μm include colonne circolari e rientranze, linee nelle direzioni X e Y con un passo di 5 μm. Il quadrato con dimensioni 1 mm per 1 mm contiene colonne quadrate e rientranze con passo di 10 μm.
Le griglie TGXYZ servono per la calibrazione laterale e verticale degli scanner SPM. La non-linearità verticale può essere compensata usando diverse griglie di calibrazione con differenti step height.
File
Caratteristiche Tecniche
Area attiva ....................................... 1 x 1 mm
Dimensioni dei chip ....................................... 5 x 5 x 0.3 mm
| Numero parte | Step height | Height Accuracy | Passo | Accuratezza Passo |
|---|---|---|---|---|
| TGXYZ01 | 20 nm | 2% | 5 and 10 μm | 0.1 μm |
| TGXYZ02 | 100 nm | 3% | 5 and 10 μm | 0.1 μm |
| TGXYZ03 | 500 nm | 3% | 5 and 10 μm | 0.1 μm |