S neox risponde all'esigenza della massima flessibilità di misura in un sensore integrabile ed è quindi il sistema industriale più versatile sul mercato.
S neox spinge la versatilità all'estremo: con la tecnologia 4-in-1 offre un'adattabilità senza pari per differenti requisiti applicativi, e la massima flessibilità di misurazione su qualsiasi superficie. La riprogettazione di alcuni algoritmi ha aumentato la velocità e la capacità di tutte le tecnologie integrate nel sensore. La possibilità di aggiungere un motore Z piezoelettrico rende S neox il top performer di Sensofar. S neox realizza anche misure di spessori da 50 nm a 5 mm.
File
| Allegato | Dimensione |
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 Brochure sensori profilometri ottici integrabili Sensofar | 7.56 MB |
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Ai Focus Variation
Active illumination Focus Variation è una tecnologia ottica sviluppata per misurare la forma di ampie superfici ruvide. Questa tecnologia si basa sulla vasta esperienza di Sensofar nel campo delle misurazioni 3D confocali e interferometriche combinate ed è progettata specificamente per integrare le misurazioni confocali a basso ingrandimento.
È stata migliorata con l'uso dell'Active Illumination per ottenere una posizione di messa a fuoco più efficace anche su superfici otticamente lisce.
I punti salienti della tecnologia includono
- misura su superfici ad alta pendenza (fino a 86°)
- massima velocità (fino a 3 mm/s)
- misurazioni in un ampio intervallo verticale
Confocale
I profilometri confocali sono stati sviluppati per misurare l'altezza di superfici in un ampio range di rugosità, da lisce a molto ruvide. Il profilo confocale fornisce la massima risoluzione laterale, fino a 0,15 μm line & space. Con lo spatial sampling può essere ridotto a 0,01 μm, che è l'ideale per eseguire misurazioni di dimensioni critiche.
Sono disponibili obiettivi ad alto Apertura Numerica, NA, (0,95) e ad alto ingrandimento (150X) per misurare superfici lisce con pendenze superiori a 70° (per superfici ruvide fino a 86°). Gli algoritmi confocali proprietari forniscono ripetibilità verticale su scala nanometrica.
Interferometria
PSI - Phase Shift Interferometry: è stata sviluppata per misurare l'altezza di superfici molto lisce e continue con risoluzione sub-Angstrom, per tutte le aperture numeriche (NA). Ingrandimenti molto bassi (2,5X) possono essere utilizzati per misurare ampi campi visivi con la stessa risoluzione in altezza.
CSI - Coherence Scanning Interferometry: utilizza la luce bianca per scansionare l'altezza della superficie di superfici da lisce a moderatamente ruvide, raggiungendo una risoluzione dell'altezza di 1 nm, a qualsiasi ingrandimento.
Riflettometria Spettroscopica
La tecnica di misurazione del film sottile misura lo spessore di strati otticamente trasparenti in modo rapido, accurato, non distruttivo; non richiede la preparazione del campione. Il sistema acquisisce lo spettro di riflettanza del campione nel campo del visibile, e viene confrontato con uno spettro simulato calcolato dal software, con modifica dello spessore dello strato fino a trovare la miglior corrispondenza. I film trasparenti da 50 nm a 1,5 μm possono essere misurati in meno di un secondo. Il diametro del punto di valutazione del campione dipende dall'ingrandimento dell'obiettivo che può essere compreso tra 0,5 μm e 40 μm.
Senso Scan
Software di acquisizione - Funziona come un server. Trasmette raw data, dati grezzi.
SDK
Il Software Development Kit (SDK) è un insieme di strumenti informatici che consentono il controllo remoto di uno o più sensori. Genera e gestisce la comunicazione tra il computer del cliente e i sensori, oltre a indirizzare i dati acquisiti ai diversi software di analisi.
SensoPRO
La velocità di output e raccolta dati dalla linea di produzione viene gestita da SensoPRO: tramite algoritmi di analisi dei dati personalizzati, le funzionalità specifiche verranno rilevate e analizzate automaticamente, creando rapidamente un rapporto pass/fail.
SensoVIEW
SensoVIEW è il software ideale per un'ampia gamma di attività di analisi. Include una suite completa di strumenti per l'esame e l'analisi preliminari di misurazioni 3D o 2D, fornisce calcoli di rugosità o volume e misura dimensioni critiche con una serie di strumenti di analisi, che possono essere esportati come report o set di dati (file csv)
È disponibile anche una versione da banco dell'S neox. Puoi esplorare tutte le sue caratteristiche seguendo il link qui sotto
Caratteristiche Tecniche
Tecnologie | Confocale, PSI, ePSI, CSI, Ai Focus Variation e Misura di film sottili |
Campo visivo (singolo scatto) | Fino a 6.8 x 5.6 mm (1) |
Velocità di acquisizione | 4 s (2) |
Risoluzione ottica | Fino a 148nm (3) |
Rumore di sistema | Fino a 0.01 nm (4) |
Peso | 10,1 Kg |
Lunghezza del cavo | 5 o 10 m |
Software | DLL (C++ o C#, Windows 10® - 64 bits) XML (qualsiasi sistema operativo) |
File di esportazione | SensoSCAN: Dati: .plux, .dat Immagini: bmp |
- Obiettivo 2,5X TI (NA 0.075, WD 10.3 mm) .
- Confocale, 20X EPI e range Z =500 µm, velocità 5X.
- 150X EPI (NA 0.95 L&S valori Line and Space per obiettivo con LED blu.
- PSI con PZT utilizzando qualsiasi obiettivo interferometrico.
Ingrandimento | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
Apertura Numerica | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.8 | 0.9 | 0.95 |
WD (mm) | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1 | 1 | 0.2 |
Campo visivo (1) (mm) | 3378x2826 | 1689x1413 | 845x707 | 338x283 | 169x141 | 113x94 |
Spatial sampling (2) (µm) | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 | 0.05 |
Risoluzione Ottica (3) (µm) | 0.94 | 0.47 | 0.31 | 0.18 | 0.16 | 0.148 |
Rumore di sistema (4) (nm) | 100 | 30 | 8 | 5 | 3 | 1 |
Pendenza massima (5) (º) | 9 | 17 | 27 | 44 | 64 | 72 |
Ingrandimento | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
Apertura Numerica | 0.075 | 0.13 | 0.30 | 0.40 | 0.55 | 0.70 |
WD (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Campo visivo (1) (mm) | 6756x5652 | 3378x2826 | 1689x1413 | 845x707 | 338x283 | 169x141 |
Spatial sampling (2) (µm) | 2.76 | 1.38 | 0.69 | 0.34 | 0.13 | 0.07 |
Risoluzione Ottica (3) (µm) | 1.87 | 1.08 | 0.47 | 0.35 | 0.26 | 0.20 |
Rumore di sistema (4) (nm) | PSI/ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | PSI/ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | PSI/ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | PSI/ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | PSI/ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm | PSI/ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm |
Pendenza massima (5) (º) | 4 | 7 | 17 | 24 | 33 | 44 |
- Campo visivo massimo con fotocamera da 3/2" e ottica 0,5X
- Dimensione dei pixel sulla superficie
- L&S: Line & Space, metà del limite di diffrazione secondo il criterio di Rayleigh. Lo spatial sampling potrebbe limitare la risoluzione ottica per gli obiettivi interferometrici. Valori per LED blu.
- Rumore di sistema misurato come differenza tra due misure consecutive su uno specchio di calibrazione posto perpendicolarmente all'asse ottico. Per obiettivi di interferometria, PSI, 10 medie di fase. Gli 0,01 nm sono ottenuti con scanner da stage piezoelettrico e camera a temperatura controllata. Valori per LED verde (LED bianco per CSI). Valori ottenuti in un ambiente di vibrazione VC-E.
- Su superfici lisce. Fino a 86° su superfici ruvide.
Principio di misura | Confocale, PSI, ePSI, CSI, Ai Focus Variation e Film Sottili |
Tipi di misurazione | Imaging, 3D, spessore 3D, profilo e coordinate |
Fotocamera | 5Mpx: 2448x2048 pixel (60 fps) |
Frame rate confocale | 60 fps (5Mpx); 180 fps (1.2 Mpx) |
Intervallo grossolano di scansione verticale | Stage lineare: intervallo 40 mm; Risoluzione 5 nm |
Intervallo più preciso di scansione verticale | Scanner piezoelettrico con sensore capacitivo: range 200 ?m; Risoluzione 1,25 nm |
Maaimo range di misura su asse Z | PSI 20 µm; CSI 10 mm; Confocale e Ai Focus Variation 34 mm |
Sorgenti luminose a LED | Rosso (630 nm); verde (530 nm); blu (460 nm) e bianco (575 nm; centro) |
Portaobiettivo | 6 posizioni - completamente motorizzato |
Riflettività del campione | da 0.05 % a 100% |
Analisi software avanzata | Incluso: SensoVIEW; Opzionali: SensoPRO, SensoMAP |
Comunicazione software | DLL (C++ o C#, Windows 10® - 64 bits) - XML (qualsiasi sistema operativo) |
Computer | Più recente processore INTEL |
Sistema operativo | Microsoft Windows 10®, 64 bit |
Lunghezza cavo | 5 o 10 m |
Ambiente | Temperatura da 10ºC a 35ºC; Umidità <80% UR; Altitudine <2000 m |