HVG-2020B

Display touchscreen opzionale, ampio range di lettura, controllo flessibile del vuoto!

Il misuratore di vuoto ad ampio range con doppio sensore, modello HVG-2020B, porta la misurazione del vuoto a un livello più alto. Con un sensore a base piezoelettrica e un sensore Pirani a base termica, l'HVG-2020B è in grado di misurare con precisione e sicurezza valori di pressione lungo sette decadi, da ​​​​0.1 mTorr a -100​0 Torr. Il sensore piezoelettrico è media isolated, indipendente dalla composizione del gas e viene periodicamente azzerato dal sensore Pirani. Un sensore termico ambientale consente allo strumento di regolare la temperatura e ottenere in questa maniera una precisione migliore.

Il display touchscreen opzionale, il software di acquisizione dati Windows gratuito e una varietà di opzioni di comunicazione digitale rendono l'HVG-2020B flessibile e intuitivo. Sono disponibili uscite USB, RS 232, RS 485, output lineari o di log, display grafici o registrazione e acquisizione dati: tutte queste caratteristiche sono condensate nel misuratore di vuoto HVG-2020B.

Video

Vacuometro digitale - HVG-2020B
Applicazioni e settori di utilizzo
  • Incisione su semiconduttori
  • Camera di sputtering
  • Sistemi di carico e trasferimento (Load Lock Systems)
  • Controllo e test di processo
  • Rivestimento al plasma

Caratteristiche Tecniche

Rangeda 0.1 mTorr a -100 0 Torr
Accuratezza* - 10 Torr - 1000 Torr+(0.1% della lettura +0.3 Torr)
Accuratezza* - 10 Torr - 1000 Torr* - 1 mTorr - 10 Torr+(5% della lettura +0.25 mTorr)
Accuratezza* - 10 Torr - 1000 Torr* - 0.2 mTorr - 1 mTorr+(10% della lettura +0.25 mTorr)
Temperatura di esercizio-20 - +70°C
Uscita analogica (tensione)0-1 VDC, 0-5 VDC, 0-10 VDC Linear & Log
Uscita analogica (corrente)0-20 mA, 4-20 mA
Tensione di ingresso12-36 VDC
Materiali a contatto con liquidiAcciaio inossidabile 304 e 316L, vetro, Ni, Au
Setpoint di controllo del processoDual TTL (High & Low)