Smart-WLI Next

Profilometro ottico 3D - Sistema di misura universale da laboratorio: fino a 4 obiettivi e torretta motorizzata

La nuova generazione di profilometri ad alte prestazioni di GBS

Lo Smart WLI Next di GBS Ilmenau Gmbh è un sensore 3D che può essere utilizzato per misurare nanostrutture e microgeometrie.
Ha una torretta motorizzata che può portare fino a quattro obiettivi. Ciò significa che il sensore compatto, che funziona con il principio dell'interferometria a luce bianca, può essere utilizzato in macchine di misura che richiedono un cambio dell'obiettivo, durante il processo di misura, senza intervento manuale. Anche il software di scansione è stato migliorato in modo che la velocità di misurazione massima di tutti i sensori di questa serie, così come la risoluzione in xyz, fosse più veloce dei modelli precedenti. Mentre le strutture superficiali più piccole possono essere valutate anche su superfici superlucide come uno specchio di cristallo, è inoltre possibile misurare aree estese molto più velocemente di prima, e con maggiore risoluzione.
A tale scopo, la superficie viene analizzata in una prima fase con una velocità di scansione di oltre 1 mm/s, e il campo di misura necessario per la misurazione ad alta risoluzione è limitato. Anche con un'elevata tolleranza di posizione e con superfici inclinate con una differenza di altezza di diversi 100μ, è possibile eseguire misurazioni individuali da 1 a 2s; e in pochi minuti è possibile misurare e riprendere aree più grandi, con diverse misurazioni singole a 100μ.

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Caratteristiche Tecniche

Specifiche generali

tecnica di misurazione

interferometria a luce bianca

software di misurazione

smartVIS3D

software di valutazione

MountainsMap® con moduli aggiuntivi GBS opzionali

dispositivo di scansione

sistema di posizionamento piezoelettrico

intervallo di scansione

200 µm

intervallo esteso di scansione

opzionale con asse di scansione motorizzato (aggiuntivo) fino a 200 mm

digitalizzazione

fino a 0.01 pm

rumore di sistema / riproducibilità topografica Nm*

< 0,08 nm (fotocamera da 5 MP) / < 0,12 nm (fotocamera da 2,3 MP)

Riproducibilità 1-σ Altezza passo 0,4 µm

< 1 nm

Riproducibilità 1-σ Altezza passo 12 µm

< 3 nm

Riproducibilità 1-σ Altezza passo 100 µm

< 20 nm

Peso del sensore

circa 5 kg

umidità relativa, senza condensa

fino a 80%

temperatura di funzionamento

da 10 °C a 35 °C

Alimentazione elettrica

Da 100 a 240 V CA, 50/60 Hz

*Sq/√2 – differenza di profilo di 2 scansioni, obiettivo 10x, EPSI, scansione singola, senza media del profilo, condizioni di laboratorio, 1 milione di punti dopo il filtro di denoising 3x3

Specifiche e velocità delle fotocamere

Fotocamera ad alta velocità da 2,3 MP

Fotocamera ad alta velocità da 5 MP

velocità della fotocamera a piena risoluzione

169 Hz (1920 x 1200 punti di misura)

77 Hz (2456 x 2054 punti di misura)

velocità di scansione piena risoluzione
incremento minimo

11,4 µm/s

5.2 µm/s

velocità di scansione piena risoluzione
5x incrementi estesi

56 µm/s

26 µm/s

Velocità delle fotocamera in sottocampionamento

533 Hz (960 x 600 punti di misura)

sottocampionamento non disponibile

sottocampionamento della velocità di scansione - incremento minimo

35,7 µm/s

sottocampionamento non disponibile

sottocampionamento della velocità di scansione - 5x incrementi estesi

178,5 µm/s

sottocampionamento non disponibile

velocità della fotocamera ROI medio

1,4 kHz (400 x 400 punti di misura)

340 Hz (2456 x 400) punti di misura)

velocità di scansione ROI medio
incremento minimo

93,8 µm/s

22,8 µm/s

velocità di scansione ROI medio
5x incrementi estesi

469 µm/s

114 µm/s

velocità della fotocamera - ROI limitato

3,2 kHz (1920 x 36 punti di misura)

2 kHz (2456 x 2 punti di misura)

velocità di scansione - ROI limitato
incremento minimo

214,4 µm/s

134 µm/s

velocità di scansione - ROI limitato
5x incrementi estesi

1.072 µm/s

670 µm/s

ROI

maggiore velocità con meno linee e file più piccoli

maggiore velocità con meno linee

calcolo dei dati

calcolo in tempo reale dei dati 3d su GPGPU (general purpose graphic processing unit) fino a 10 TFLOPS

calcolo in tempo reale dei dati 3d su GPGPU (general purpose graphic processing unit) fino a 10 TFLOPS

incrementi di scansione supportati

1x, 3x, 5x, 7x, 11x

1x, 3x, 5x, 7x, 11x

"prescansione" ad alta velocità
e determinazione dell'intervallo z

la "prescansione" può essere utilizzata per determinare e ridurre automaticamente il range z necessario per misurazioni ad alta risoluzione - questo riduce drasticamente il tempo di misurazione per superfici con altezze variabili all'interno della gamma di scansione

la "prescansione" può essere utilizzata per determinare e ridurre automaticamente il range z necessario per misurazioni ad alta risoluzione - questo riduce drasticamente il tempo di misurazione per superfici con altezze variabili all'interno della gamma di scansione

Specifiche degli obiettivi

ingrandimento

5x

10x

20x

50x

100x

115x*

distanza di lavoro / mm

9.3

7.4

4.7

3.4

2

0.7

apertura

0.13

0.3

0.4

0.55

0.7

0.8

Fotocamera da 2,3 MP - campo di misura / mm²

3.7 x 2.3

1.8 x 1.2

0.91 x 0.58

0.37 x 0.23

0.18 x 0.12

0.16 x 0.1

Fotocamera da 2,3 MP - Spaziatura tra punti / µm

1.9

0.96

0.48

0.19

0.1

0.08

Fotocamera da 2,3 MP - super risoluzione - spaziatura / µm

0.63

0.32

0.16

0.063

0.033

0.027

Fotocamera da 5 MP - campo di misura / mm²

3.4 x 2.8

1.7 x 1.4

0.85 x 0.71

0.34 x 0.28

0.17 x 0.14

0.15 x 0.12

Fotocamera da 5 MP - spaziatura tra punti / µm

1.4

0.69

0.35

0.14

0.07

0.06

Fotocamera da 5 MP - super risoluzione - spaziatura / µm

0.47

0.23

0.12

0.047

0.023

0.02

Stand piccoli e stage xy
Stand

max. / range di posizionamento grossolano (posizionamento z manuale)

70 mm

intervallo di posizionamento preciso (posizionamento z manuale)

1.9 mm

angolo di inclinazione (dispositivo di livellamento)

± 3°

Stage xy

area di posizionamento

movimento

capacità di carico

risoluzione

ortogonalità

codificatore

73 x 55 mm²

manuale

1 kg

-

-

-

75 x 50 mm²

motorizzato

1 kg

0.01 µm

opzionale

100 x 100 mm²

motorizzato

2 kg

0.01 µm

opzionale

150 x 150 mm²

motorizzato

3 kg

0.01 µm

opzionale

200 x 200 mm²

motorizzato

3 kg

0.01 µm

opzionale

300 x 300 mm²

motorizzato

5 kg

0.01 µm

opzionale

Unità di controllo

Componenti

Rack industriale 19” con alloggiamento

PC ad alte prestazioni
Windows 10
software di misura smartVIS3D
software di valutazione MountainsMap®

Controllore del dispositivo di scansione
sistema di posizionamento piezoelettrico (capacitivo)
calibrato interferometrico
controllo ad anello chiuso per il posizionamento

Controller luci a LED

Controller del sistema di posizionamento XY (opzionale)