La prima configurazione macroscopica della reflection DHM®. Rende possibili misure di topografia 3D con ampio campo visito fino a 32 x 32 mm. Come gli altri prodotti DHM®, il macro-sensore è uno strumento di non scansione che registra topografia 3D a una velocità di acquisizione senza confronto.
Questa nuova tecnologia brevettata apre a nuove applicazioni, dove viene richiesta una risoluzione verticale sub-nanometrica all'interno di un ampio campo visivo, paragonato alla configurazione standard della microscopia.
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Il macro-sensore è stato sviluppato per misurazioni automatiche, tutti i componenti critici sono accessibili al di fuori del corpo del sensore:
- Telecamera e porta in fibra ottica dall'alto
- Sorgente laser esterna
- Lunga distanza di lavoro: 30mm
- Assenza di parti in movimento all'interno dello strumento
Il macroscopio olografico ha un campo visivo fisso. Disponibile con configurazioni a singola e doppia lunghezza d'onda, a seconda delle necessità degli utenti.
La configurazione autonoma con lo stage motorizzato è ideale per la Ricerca e Sviluppo e per la semi-automazione. La configurazione con la sola testa di misura è disponibile per integrazione su macchine più grandi.
Caratteristiche Tecniche
- Campo visivo: 32 mm x 32 mm
- Risoluzione laterale: 35 um
- Risoluzione verticale: 0.5 nm
- Distanza di lavoro: 30 mm
- Angolo di accettazione: 0.15°