Il misuratore di flusso di massa Hastings (HFM-300) e controller (HFC-302) sono progettati per effettuare misurazioni con precisione e controllo del flusso massico di gas nel range da 0-5 sccm a 0 -10 slm con un'accuratezza di ± 0,75% FS a 3σ dalla media (versioni> 10 slm sono FS ± 1,0%).
In normali condizioni di funzionamento con gas non aggressivi essi non richiedono alcuna manutenzione periodica. Non si verificano danneggiamenti derivanti dall'uso in moderate sovrapressioni (~ 500 psi/3.45MPa) od overflow.
Gli strumenti sono normalmente tarati con gas di calibrazione standard (azoto), quindi un fattore di conversione è usato per modificare l'uscita in condizioni di utilizzo con altri gas. Calibrazioni di altri gas, come ossigeno, elio e argon, sono disponibili tramite ordine speciale.
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