Il nuovo S Neox supera i profilometri ottici 3D attualmente sul mercato in termini di performance, funzionalità, efficienza e design, rendendolo un sistema di misura della superficie ai vertici della sua categoria.
File
| Allegato | Dimensione |
|---|---|
 S neox brochure (ENG) | 12.57 MB |
| Objectives Specifications | 1.84 MB |
| Spectroscopic reflectometer | 2.6 MB |
| In-situ metrology for pad surface monitoring in CMP | 3.84 MB |
News, eventi, promo, webinar
Più veloce che mai
Più veloce, grazie a nuovi algoritmi e a una nuova fotocamera. L'acquisizione dei dati viene eseguita a 180 fps. L'acquisizione delle misurazioni standard è 5 volte più veloce del modello precedente. S neox è il sistema di misurazione di superfici più veloce sul mercato.
Facile da usare
Sensofar lavora continuamente per fornire la migliore user experience possibile. Con la quinta generazione dei sistemi S neox l'obiettivo era rendere il profilometro facile da usare, intuitivo e veloce. Il sistema può essere gestito anche da un utente principiante, grazie a un unico clic. Sono stati creati diversi moduli software per ottenere la migliore corrispondenza alle esigenze dell'utente, in modo da poter configurare sistemi di misura altamente personalizzati.
Controllo qualità
Sono stati creati dei moduli automatizzati per facilitare tutte le procedure di controllo qualità. Questi moduli vanno dal controllo dei privilegi di accesso degli operatori alle ricette, alla compatibilità con lettori di codici a barre e QR, fino a plugin personalizzati generati dal software proprietario SensoPRO per produrre rapporti "pass/fail". Le soluzioni ottimizzate di Sensofar sono in grado di lavorare in ambienti di controllo qualità grazie alla flessibilità e alla facilità d'uso dell'interfaccia, che può essere programmata per lavorare 24/7.
Ricerca e Sviluppo
Con l'approcio di Sensofar 3-in-1, basta un solo click nell'ambiente SensoSCAN per far passare il sistema alla migliore tecnica per la misura da effettuare. Le tre tecniche di misurazione, incluse nella testa dell'S neox (Confocale, Interferometrica, Variazione di fuoco Ai) contribuiscono in maniera fondamentale alla versatilità del sistema e aiutano a minimizzare compromessi nell'acquisizione dei dati. L'S neox è ideale per qualsiasi laboratorio, senza limitazioni.
Ai Focus VariationNEW!
La Active illumination Focus Variation scansiona verticalmente l'ottica (con una profondità di campo molto bassa) o il campione per ottenere una serie continua di immagini della superficie. Un algoritmo determina quali punti in ogni fotogramma sono a fuoco e un'intera immagine viene costruita utilizzando tutti i punti a fuoco di tutti i fotogrammi. È stato migliorato con l'uso dell'illuminazione attiva per ottenere una posizione di messa a fuoco più affidabile, anche su superfici otticamente lisce.
Confocale
La tecnica di imaging dei microscopi confocali utilizza un'apertura sul piano confocale dell'obiettivo. In questo modo viene impedito alla luce sfocata di entrare nel sistema di imaging e viene catturato solo il piano a fuoco sul campione. I profili 2D e le immagini della superficie 3D possono essere ripresi scansionando l'apertura meccanicamente o digitalmente.
Interferometria
L'interferometria ottica utilizza la differenza del percorso ottico tra la luce riflessa nei due bracci dell'interferometro (riferimento e campione) per produrre un modello di interferenza spaziale (interferogrammi) che contiene informazioni sulla topologia superficiale del campione. Diverse varianti dell'approccio possono essere utilizzate per applicazioni particolari.
Film Sottili
La tecnica di misurazione dei film sottili misura lo spessore di strati otticamente trasparenti in modo rapido, accurato, non distruttivo e senza preparazione del campione. Il profilometro acquisisce lo spettro di riflettanza del campione nell'intervallo visibile e viene confrontato con uno spettro simulato calcolato dal software, con modifica dello spessore dello strato fino a trovare il miglior adattamento. Le pellicole trasparenti da 50 nm a 1,5 μm possono essere misurate in meno di un secondo. Il diametro del punto di valutazione del campione dipende dall'ingrandimento dell'obiettivo, che può essere compreso tra 0,5 μm e 40 μm.
I vantaggi dell'utilizzo di un LED su un laser sono enormi. I LED evitano schemi di interferenza e dispersione tipici delle sorgenti di luce laser. I LED illuminano un'area, piuttosto che un singolo punto, producendo misurazioni più veloci. La durata stimata di un LED è di circa 50.000 h (25 volte migliore di un laser). Infine, offrono una grande versatilità, consentendo di utilizzare diverse lunghezze d'onda a seconda della natura del campione.
Ogni S neox è prodotto per fornire misurazioni accurate e tracciabili. Tutti i sistemi vengono calibrati utilizzando standard tracciabili secondo lo standard ISO 25178 parte 700 e parte 600, in merito a: Z amplification factor, dimensioni laterali XY, deviazione di planarità, rumore del sistema, parcentricità e parafocalità. Qualsiasi strumento metrologico deve soddisfare questo requisito prima di fornire qualsiasi risultato.
Ogni S neox è calibrato per stimare le caratteristiche metrologiche utilizzando uno standard di calibrazione tracciabile, regolato per correggere errori sistematici e verificato per corrispondere al valore calibrato. Infine, le specifiche delle prestazioni vengono controllate e le caratteristiche dello strumento, come l'accuratezza e la ripetibilità, vengono fornite con il sistema.
La risoluzione verticale è limitata dal rumore dello strumento, che è fisso per l'Interferometria, mentre dipende dall'apertura numerica per il Confocale. L'algoritmo proprietario di Sensofar limita il rumore del sistema a livello nanometrico per qualsiasi tecnica di misurazione, alla risoluzione laterale più alta possibile per uno strumento ottico.
La topografia in foto è uno strato atomico subnanometrico (0.3 nm).
La tecnologia Differential Interference Contrast (DIC) viene utilizzate per enfatizzare piccolissimi gradini che non avrebbero alcun contrasto in osservazioni normali. Grazie a un prisma Nomarski, viene creata un'immagine interferenziale che permette di vedere strutture in scala subnanometrica che non sarebbero altrimenti visibili in immagini a campo chiaro o confocali.
Il design dell'S neox è ideale per ottenere una valutazione rapida e non invasiva della micro e nanogeometria di superfici tecniche in configurazioni multiple. S neox fornisce la flessibilità, la durata e l'efficienza richieste, a partire dalla configurazione standard per i laboratori di ricerca e sviluppo e ispezione qualità fino a soluzioni sofisticate e personalizzate per i controlli di processo online. Può misurare campioni fino a 300 × 300 mm2, con un'altezza massima fino a 350 mm. Il profilometro ottico 3D S neox è uno strumento completo.
L'inclinazione motorizzata è stata progettata per livellare automaticamente il campione in meno di 3 secondi. Questo dispositivo riduce il tempo di preparazione del campione e consente il livellamento del campione in più posizioni, per applicazioni automatizzate. La funzione di inclinazione automatica può essere utilizzata con tutte le tecniche di imaging.
Il portaobiettivo motorizzato può caricare fino a sei obiettivi contemporaneamente, inclusi gli obiettivi per campo chiaro e interferometria. Il software SensoSCAN gestisce automaticamente il cambio di obiettivo e corregge ogni modifica della parafocalità che si dovesse rendere necessaria.
L'anello di luce si basa su un anello LED per illuminare il campione in modo uniforme ed efficiente. È montato sopra e attorno all'obbiettivo, e fornisce un segnale aumentato per la tecnica Ai Focus Variation. Ciò assicura una illuminazione appropriata sul piano focale.
Lo stage rotazionale a cinque assi consiste di un asse A rotante ad alta precisione motorizzato con 360° di rotazione continua, 1 arc sec di precisione di posizionamento, un asse B motorizzato, da -30º a 110º, 1 arc min di precisione di posizionamento con fine corsa. È equipaggiato con un sistema di serraggio System3R.
Il porta inserto è un accessorio opzionale progettato per posizionare gli utensili da taglio nella giusta posizione, necessaria per la misurazione. È compatibile con tutti i modelli di inserti attualmente sul mercato.
Il software SensoSCAN guida il sistema grazie a un'interfaccia user-friendly intuitiva e chiara. L'utente viene guidato attraverso l'ambiente 3D, con un'esperienza utente unica.
Navigazione del campione
Uno strumento di panoramica aiuta l'utente a ispezionare il campione durante la preparazione della misura, a controllare le posizioni di misura prima dell'acquisizione, e lo aiuta nella procedura automatizzata. È semplice lavorare con un alto valore di ingrandimento, poiché sarà possibile sapere in tempo reale in che punto del campione ci si trova.
Funzione Auto 3D
Selezionando la funzione 3D Auto, il software SensoSCAN automaticamente sceglie l'illuminazione adatta e il range di misura appropriato, e quindi esegue il tipo di misura prescelto. Un risultato di alta qualità può quindi essere ottenuto in pochi secondi.
Analisi e Report
È possibile anche creare dei template di analisi per applicare filtri predeterminati e configurazioni dell'operatore per misure ripetute. E infine, ottenere un report chiaro e ben strutturato per ciascuna misura, con dati 3D, un profilo 2D e i parametri ISO.
Modulo per procedure automatiche
È possibile effettuare misure automatizzate grazie allo strumento "Recipes", uno strumento facilmente personalizzabile per creare procedure di controllo qualità. È ideale per ispezioni di Controllo Qualità, ed è estremamente semplice definire delle procedure per misure automatiche con lo strumento di gestione del profilo, esportazione dati, e criteri ‘pass or fail’.
Modulo per misure estese
Il modulo per misure estese della suite SensoSCAN permette all'utente di definire con facilità la struttura della superficie grazie all'immagine panoramica. L'area può essere ritagliata automaticamente in aree di interesse rettangolari, circolari o ad anello. È possibile creare aree di ampiezza fino a 500 milioni di pixel. Sono disponibili diverse procedure di scansione, come la messa a fuoco automatica su ciascun campo, o il focus tracking per ridurre al minimo il range di scansione verticale.
S neox introduce una nuova funzionalità che consente di replicare una ricetta di misurazione multipla definita su un array di campioni. Verranno quindi ripetute più misurazioni per ciascun campione rispetto al punto di riferimento di ciascun campione. Ciò semplifica la programmazione di queste ricette, poiché la ricetta viene definita una sola volta, e se ne migliora l'affidabilità. Ciò risolverà i requisiti di lungo termine dei clienti che lavorano in Controllo qualità, 24 ore su 24, 7 giorni su 7.
S neox ora include il rilevamento automatico dei fiducial, basato su algoritmi di pattern matching, che consente un funzionamento completamente automatizzato, senza interazione umana. Ciò che prima era difficile e impreciso, ora diventa facile, ripetibile ed accurato. La combinazione di questo riconoscimento di riferimento e delle nostre routine automatizzate è un passo avanti verso l'industria 4.0.
SensoVIEW è un software ideale per un'ampia gamma di attività di analisi. Include una suite completa di strumenti per l'esame preliminare e l'analisi di misurazioni 3D o 2D; consente calcoli di rugosità o volume e misurazione di dimensioni critiche (angoli, distanze, diametri) con una serie di strumenti di analisi.
SensoPRO - Pacchetto software avanzato disponibile come opzione.
Non è mai stato più facile effettuare un veloce controllo qualità su una linea di produzione. Grazie a SensoPRO l'operatore in linea di produzione deve solamente caricare il campione e seguire le istruzioni guidate. Algoritmi plug-in di analisi dei dati forniscono un alto grado di flessibilità. Nuovi moduli possono essere creati e personalizzati con facilità per altre necessità produttive.
SensoMAP pacchetto software avanzato disponibile come opzione.
SensoMAP, basato sulla tecnologia Mountains di Digital Surf, è uno strumento estremamente potente per analisi e reportistica. È del tutto adattabile in maniera modulare alle necessità del cliente. Sono disponibili due livelli (standard e premium) e diversi moduli (moduli 2D, 3D o 4D, Advanced Contour, Grains & Particles, Statistics and Stitching).
| Advanced 2D surface texture | Studi, parametri e filtri per analisi avanzata di profili 2D |
| Advanced 3D surface texture | Studi, parametri e filtri per analisi avanzata di superfici 3D |
| Contour | Veloce dimensionamento geometrico dei profili del componente |
| Advanced contour | Modulo comprensivo di analisi di deviazioni con tolleranze |
| Grains and particles | Studio delle caratteristiche di superfici isolate |
| Colocalization | Combina dati di superfici ottenuti da strumenti di imaging e metrologia di diverse tipologie |
| 4D series | Visualizza e analizza l'evoluzione della superficie |
| Statistics | Analisi statistica automatica di popolazioni di dati da misure statiche e dinamiche |
| 3D Fourier | Usa strumenti avanzati FFT-based per analizzare le interazioni processo-superficie ed eliminare il rumore dalla superficie |
| 2D automotive | Verifica la performance funzionale con parametri sviluppati dall'industria automotive |
Caratteristiche Tecniche
Rosso | Verde | Blu | Bianco |
|---|---|---|---|
630nm | 530nm | 460nm | 575nm |
1 Campo visivo massimo con camera 3/2” e ottiche 0.5X. 2 Dimensione del pixel sulla superficie. 3 L&S: Linea e spazio. Valori relativi al LED blu. 4 Rumore del sistema misurato come differenza tra due misure consecutive su uno specchio di calibrazione perpendicolare all'asse ottico. 5 Su superfici piane, fino a 71º. Su superfici riflettenti, fino a 86º.
1 Campo visivo massimo con camera 3/2” e ottiche 0.5X. 2 Dimensione del pixel sulla superficie. 3 L&S: Linea e spazio. Valori relativi al LED blu. 4 Rumore del sistema misurato come differenza tra due misure consecutive su uno specchio di calibrazione perpendicolare all'asse ottico. Per il PSI, 10 phase averages con l'isolamento da vibrazioni attivato. La misura di 0.01 nm è ottenuta con il Piezo stage scanner e in ambiente a temperatura controllata. Valori relativi al LED verde (LED bianco per CSI). Risoluzione HD. 5 Su superfici piane, fino a 71º. Su superfici riflettenti, fino a 86º.
Obiettivi utilizzati per il Confocale e l'Ai Focus Variation: 50X 0.80 NA. Per il CSI e il PSI: 50X 0.55NA.
Risoluzione 1220×1024 pixel. Tutte le misure sono state effettuate utilizzando PZT.
L'Incertezza (U/Uncertainty) secondo la guida ISO/IEC 98-3:2008€ GUM:1995, K=1,96 (livello di confidenza 95%). σ secondo 25 misure.
7 Area di 1x1mm. 8 Profilo di 4mm di lunghezza.
